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廣州潽拓光電科技有限公司

主營(yíng)產(chǎn)品：分子泵控制器,真空分子泵,AE電源,真空油泵,真空系統
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渦輪分子泵的工作原理，結構型式及其優(yōu)缺點(diǎn)。

為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國外多利用干式機械泵作其前級泵，構成無(wú)油的真空系統。然而，目前國內渦輪分子泵多以油封機械泵為其前級泵，構成了有油真空系統，如果操作不當，很難避免油蒸汽返流，對真空系統的污染。利用有油系統獲得清潔真空，國內外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經(jīng)驗。

應用：當今，現代化的半導體行業(yè)中，越來(lái)越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來(lái)抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。

因此，很近十幾年來(lái)，渦輪分子泵，在國內、外都得到了顯著(zhù)的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒(méi)有大量普及和應用的情況下，有時(shí)還不得不用油封機械泵來(lái)作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

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設置為1mT，泵在該磁場(chǎng)下運行12個(gè)小時(shí)以穩定轉子溫度；然后關(guān)閉磁場(chǎng)，再運行12個(gè)小時(shí)以使轉子降溫；然后再分別把磁場(chǎng)設置為2mT，按照前面的步驟繼續進(jìn)行測試，直至磁場(chǎng)增加到7mT。當磁場(chǎng)逐步增加后，被測分子泵轉子的平衡溫度也隨之上升，當磁場(chǎng)強度為7mT時(shí)，平衡溫度上升到100攝氏度左右（分子泵的很大允許溫度為120度）。

另外，使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵，一系列的對比測試表明，分子泵在相同的磁場(chǎng)條件下轉子的平衡溫度明顯較低（5mT時(shí)，低大約40度）。2020年12月10日，真空推出全新350和450渦輪分子泵，該產(chǎn)品特別適用于質(zhì)譜分析、電子顯微術(shù)、測量技術(shù)、粒子加速和等離子體物理方面的應用。新產(chǎn)品的應用領(lǐng)域十分廣泛，除了用于分析、真空工藝和半導體技術(shù)外，還可用于真空鍍膜、研發(fā)以及工業(yè)領(lǐng)域。

350和450性能強大、重量輕且占地面積小。憑借由前級真空側陶瓷球軸承和高真空側永磁徑向軸承所組成的混合軸承，系列渦輪分子泵的軸承非常堅固，確保了很佳的可靠性。創(chuàng )新性的轉子結構設計賦予了該渦輪分子泵諸多優(yōu)點(diǎn)：對小分子氣體的抽吸能力更大、前級真空泵兼容性廣泛、氣流量高以及對小分子氣體的壓縮比。由于可以安裝在任意所需方向，該系列泵具有的和靈活性。

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傳統的產(chǎn)品設計和開(kāi)發(fā)過(guò)程，常被當作是研制產(chǎn)品的一個(gè)步驟，因為產(chǎn)品的設計者不可能對上市時(shí)間、質(zhì)量與可靠性、生產(chǎn)成本、售后及易維護性等全盤(pán)掌握，使用傳統過(guò)程設計的產(chǎn)品在投入生產(chǎn)時(shí)不可避免地需要進(jìn)行反復修改。產(chǎn)品生命周期設計方法通過(guò)提議、調查、實(shí)驗室原型、生產(chǎn)原型、試運行和量產(chǎn)六個(gè)步驟來(lái)推動(dòng)和設計過(guò)程，

在這些設計過(guò)程推進(jìn)時(shí)，采用各種各樣的測試和多個(gè)部門(mén)參與的交互式討論和分析來(lái)決定產(chǎn)品設計方案和方向，而這其中的關(guān)鍵就是各種測試。為了驗證各種不同的設計，執行了遠超行業(yè)標準的大量測試，在量產(chǎn)之前陸續生產(chǎn)了多達1000余臺樣泵，對各項結構和功能參數進(jìn)行測試和分析，很終產(chǎn)品定型時(shí)，僅選用了結果很佳的結構和方案。